Femto-ST : une salle blanche pour la microfabrication des capteurs à quartz

La nouvelle salle blanche de l'Institut FEMTO-ST, située sur le site de Temis innovation à Besançon, vient de se doter d'un nouvel équipement. Une partie de la salle initialement en classe 10 000 (concentration maximum de 10 000 particules présentes par pied-cube d'air), est devenue classe 100 pour accueillir la ligne pilote Quartz-Tech.

Cette ligne pilote de microfabrication est principalement dédiée au travail des matériaux piézo-électriques comme le quartz, et en particulier à la réalisation en série de capteurs à onde de surface particulièrement prometteurs parce qu'ils ne nécessitent pas d'énergie embarquée pour fonctionner. Mais la particularité de la ligne consiste dans son ouverture à la fois aux personnels de recherche et aux industriels. Ainsi, tout ou partie des équipements installés peuvent être mis à disposition avec un personnel spécialisé.

Après l'aménagement des locaux et l'installation des équipements de la ligne pilote, une année est encore nécessaire pour réaliser la mise au point des procédés en vue d'assurer la fiabilité et la répétabilité des opérations. Unique en France et d'envergure internationale, cette ligne pilote qui sera opérationnelle d'ici fin 2010 devrait permettre, à terme, de développer une véritable activité sur les capteurs à quartz en Franche-Comté.